SMC常閉型高真空電磁閥,JA15-5-080
常閉型高真空電磁閥XSA系列
zui低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
有2種接頭和內螺紋可選。
消耗功率：zui多削減25％。
質量：zui多減小18％　0.5kg→0.41kg。

型號JA15-5-080 重新配置
描述 JA 系列 浮動接頭/標準型
減輕被驅動氣缸的「偏心」、「平行精度不足」
故不需要氣缸和連接件*對中
安裝形式 - 基本型 
適合缸徑 15 10, 15 
螺紋稱呼 5-080 M5X0.8 
閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。
初始供氣、主給気可同時進行流量調節(jié)。
在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
閥形式：常閉（加壓開?彈簧密封）
使用流體：氮氣、空氣、惰性氣體等
SMC常閉型高真空電磁閥,JA15-5-080
CM2B25-50Z-XB6
CM2B25-50Z-XB7
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CM2B25-60
CM2B25-600
CM2B25-600A
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CM2B25V-180A
CM2B25V-180AZ